聚酰亚胺(PI)薄膜是柔性电子、微电子封装领域的核心基材,薄型 PI 薄膜的高精度异形加工长期存在碳化卷边、应力变形、精度不足等行业痛点。
本文为巨凌智能飞秒激光加工典型工艺案例:采用飞秒激光冷加工技术实现 0.05mm PI 薄膜的微米级异形结构一体化制备,异形齿槽、微孔镂空一次成型,加工过程不烫膜、不卷边、边缘光滑,提供成熟可靠的PI 薄膜激光加工落地方案。

图注:0.05mm 厚度光学级聚酰亚胺(PI)薄膜基材
核心工艺参数
一、聚酰亚胺薄膜激光加工的三大行业痛点
PI 薄膜属于耐高温高分子材料,薄型膜材的精密图形化加工对工艺要求极高,传统激光加工与刀模工艺普遍存在难以突破的技术瓶颈:
1. 热加工易造成膜材碳化卷边
纳秒激光等传统热激光加工热影响区大,易造成 PI 薄膜边缘碳化发黑、熔融卷边,不仅破坏尺寸精度,还会损耗膜材的绝缘与力学性能,无法满足高端电子器件的使用要求。
飞秒激光冷加工基于多光子电离的非热效应去除材料,脉冲作用时间远小于热弛豫时间,热量几乎不向周边扩散,从原理上实现无热损伤激光加工,从根源解决 PI 薄膜切割的碳化与卷边问题。
2. 接触式加工易引发膜材应力变形
刀模、蚀刻等接触式工艺易对薄型 PI 薄膜造成机械应力,引发膜材拉伸变形、尺寸偏差;且复杂异形结构开模周期长、成本高,难以适配小批量定制化研发的柔性薄膜激光加工需求。
飞秒激光微纳加工为非接触式加工,无机械应力作用,可在不产生形变的前提下完成任意精细结构制备,PI 薄膜加工良率与尺寸精度远高于传统接触式工艺。
3. 复杂异形结构加工精度难管控
带齿槽、微孔、异形轮廓的复杂结构,传统工艺易出现转角毛刺、尺寸公差大、图形一致性差等问题,难以满足微电子、精密器件的高精度装配要求。
依托高精度运动平台与能量闭环调控的微米级激光精密切割工艺,可实现任意复杂图形的精准制备,全域尺寸一致性稳定可控,是聚酰亚胺激光加工的最优技术路径。

图注:飞秒激光加工 PI 薄膜异形齿槽结构,图形完整、轮廓清晰
二、飞秒激光加工成果与精度表现
依托自研飞秒激光装备与针对性工艺调试,本批次 PI 薄膜激光精密切割样品实现了高精度异形结构制备,各项指标均达到高端器件的使用要求。
1. 发丝级精细加工,微米级尺寸精度
飞秒激光加工可实现细至数十微米的精细线条加工,尺寸精度达微米级;异形齿槽、方形微孔、弧形轮廓等复杂结构尺寸公差可控,图形重复精度优异,整版加工一致性高。

图注:显微测量加工尺寸,线条宽度、槽位半径、孔位尺寸均达微米级精度
2. 冷加工无热损伤,边缘质量优异
加工边缘整齐光滑,无碳化发黑、无熔融卷边,无明显热影响区,完整保留 PI 薄膜原有的耐高温、绝缘与力学性能,加工成品可直接用于功能器件装配。
3. 复杂结构一次成型,加工效率高
异形齿槽、微孔镂空、复杂轮廓均可通过飞秒激光冷加工一次成型,无需二次后处理;任意图形均可通过软件编程实现,无需开模,适配多品种、小批量的定制化PI 薄膜激光切割需求。
三、飞秒激光加工 PI 薄膜的核心技术优势
相比传统加工工艺,飞秒激光微纳加工在聚酰亚胺薄膜的精密制备中具备显著技术优势,是当前高端柔性器件加工的主流方案:
无热损伤加工:非热效应材料去除,热影响区极小,避免膜材碳化、熔融卷边,保障材料性能完整性,是行业公认的无热损伤激光加工方案
超高精度可控:线宽、轮廓尺寸可精准调控,微米级加工公差,全域图形一致性优异,适配高精度微纳器件的激光精密切割需求
无接触无应力:非接触式加工无机械作用力,避免薄型膜材拉伸变形,加工良率远高于接触式工艺
复杂图形适配:任意异形结构、微孔阵列均可通过软件编程实现,一次成型无需后处理,柔性薄膜激光加工灵活性极强
加工效率优异:无需开模,图形切换便捷,适配单样品试制、小批量研发与量产多场景聚酰亚胺激光加工需求
同类工艺拓展:硬脆材料飞秒激光加工、飞秒激光加工镍基合金 激光微织构表面改性解析
四、核心应用领域
高精度飞秒激光加工的聚酰亚胺薄膜结构件,可广泛应用于多个高端制造与前沿科技领域:
柔性电子领域:制备柔性电路基材、FPC 精细线路、柔性传感器基底,适配可穿戴电子、折叠屏等场景的柔性电子激光加工需求
微电子封装领域:加工半导体封装绝缘垫片、微孔散热结构、精密掩膜版,满足微电子封装的高精度、高可靠性激光加工要求
航空航天领域:制备航天级柔性绝缘件、传感器敏感结构,依托 PI 材料耐高低温、耐辐照特性,适配极端环境下的飞秒激光加工应用
精密传感领域:加工 MEMS 器件结构、柔性传感器功能图形,保障器件的精度与稳定性
新能源领域:制备燃料电池质子交换膜结构、储能器件绝缘件,适配新能源行业的精密PI 薄膜激光切割需求
五、巨凌智能一体化服务支持
常州巨凌智能深耕飞秒激光微纳加工领域,提供「定制加工服务 +飞秒激光加工设备销售」双模式解决方案,覆盖高校院所研发到企业量产的全周期需求。

定制飞秒激光加工服务
支持各类柔性薄膜、硬脆材料、金属材料、薄膜涂层的微纳结构加工,适配单样品试制、小批量研发与量产级订单。
材料覆盖:聚酰亚胺(PI)、TPU/PET 等柔性聚合物、MXene / 石墨烯等二维材料、金属薄膜、复合涂层、熔融石英、蓝宝石等
工艺能力:激光精密切割、图形化刻蚀、精密微孔阵列、异形结构加工、表面改性、薄膜材料去除等
质量保障:配套显微尺寸检测、形貌观测与正式公差报告,满足科研项目记录与工业品控要求
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